D6F系列傳感器擁有引以為傲的高靈敏度，如蝴蝶振翼產(chǎn)生的微小氣流，在規(guī)格書(shū)所標(biāo)的環(huán)境溫度和壓力范圍下，也能準(zhǔn)確檢測(cè)。D6F系列傳感器主要有三種類(lèi)型，包括流量傳感器、流速傳感器、差壓傳感器。其測(cè)試原理如圖所示，在沒(méi)有氣體流動(dòng)的情況下以加熱器為中心，溫度分布左右對(duì)稱(chēng)；如有氣體流動(dòng)，在氣體流動(dòng)的狀態(tài)下熱電堆發(fā)生變化，將溫差作為熱電堆的電動(dòng)勢(shì)之差進(jìn)行傳感，從而具有高靈敏度，可以準(zhǔn)確檢測(cè)微小的氣體流量。

D6F-PH有兩種使用方法，一種是直接連接管道，連接兩個(gè)氣體腔，直接測(cè)定氣體腔的壓力差。另一種是通過(guò)旁路設(shè)計(jì)的方式間接連接，檢測(cè)管道的流量值，進(jìn)行從差壓到流量的轉(zhuǎn)換計(jì)算。歐姆龍流量傳感器的系列產(chǎn)品陣容十分豐富，適用于不同的應(yīng)用需求。今天要介紹的D6F-PH系列是D6F 歐姆龍MEMS流量傳感器家族差壓型分類(lèi)的成員。

D6F-PH可以用于檢測(cè)不含灰塵、油污、油霧等物質(zhì)的干燥空氣的壓差， 不僅使用方便，且因采用高流量阻抗有效降低旁路配置影響，比直接流量傳感器擁有更高性?xún)r(jià)比。

歐姆龍D6F-PH具備直線補(bǔ)償、溫度補(bǔ)償功能，通過(guò)ASIC的線性溫度補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)D6F-PH的精度為3%RD（25~100% F.S），特別是在低壓范圍內(nèi)的精度更好。相對(duì)于一般的差壓傳感器的FS精度保證，歐姆龍D6F-PH為RD精度保證，幫助設(shè)備實(shí)現(xiàn)更高精度的測(cè)量。

根據(jù)用戶(hù)的不同需求，D6F-PH系列差壓傳感器，擁有三檔測(cè)量范圍：0~250Pa、-50~50Pa、-500~500Pa。針對(duì)超微差壓檢測(cè)，歐姆龍MEMS流量傳感器推出了±50Pa的規(guī)格。

體積小，重量輕、產(chǎn)品設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)靈活，是MEMS傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比的核心優(yōu)勢(shì)，D6F-PH系列差壓傳感器繼承了MEMS傳感器的基因，加載了小尺寸（1.55mm x 1.55mm，厚0.4mm）的流量傳感芯片的它尺寸僅18mm x 16mm x 20.8mm，產(chǎn)品小型化可適用于空間狹小的應(yīng)用場(chǎng)景中。

D6F-PH系列差壓式傳感器有兩種封裝方式，可采用基板連接和連接器連接。全新推出的歧管接頭不需要管道可配管直接連接。不同規(guī)格的連接方式，為客戶(hù)提供更高自由度的設(shè)計(jì)。

可應(yīng)用于：氣體檢出器/分析裝置、微差壓計(jì)、VAV控制器、熱交換器。此外，還可以應(yīng)用在醫(yī)療器械方面，比如制氧機(jī)等。

歐姆龍MEMS傳感器在傳感技術(shù)和工藝方面擁有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，與不同行業(yè)的客戶(hù)深入合作，推出創(chuàng)新的傳感器產(chǎn)品，致力于將“感知”的觸角伸向物聯(lián)網(wǎng)的每個(gè)角落，讓我們的未來(lái)生活更智能。