OMRON歐姆龍于2011年1月14日發(fā)布了可測(cè)量燃料電池氣體流量的新款MEMS流量傳感器“形D6F-70”，它是一款能最大限度發(fā)揮燃料電池發(fā)電效率的高精度MEMS流量傳感器。

       它作為減輕環(huán)境負(fù)擔(dān)的新一代燃料電池系統(tǒng)零部件，MEMS流量傳感器發(fā)揮著重要的作用。 燃料電池的原理就是將城市燃?xì)庵泻械臍錃馀c氧氣混合在一起，產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行發(fā)電。為了盡量提高發(fā)電效率，需要使氫氣與氧氣在最佳混合比率的情況下進(jìn)行燃燒。為了達(dá)到這一目的，需要發(fā)揮MEMS流量傳感器的高精度測(cè)試技術(shù)。
       歐姆龍采用獨(dú)創(chuàng)的超細(xì)微加工技術(shù)，開發(fā)了裝配有流速檢測(cè)元件的MEMS流量傳感器。擁有引以為傲的世界最高級(jí)別靈敏度，甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測(cè)。隨著燃料電池的普及，對(duì)歐姆龍小型、高性能MEMS流量傳感器用途的期待也不斷高漲。

      從氫氣及氧氣形成電能，為了實(shí)現(xiàn)最有效的化學(xué)反應(yīng)，高精度地檢測(cè)氫氣（城市燃?xì)猓┘把鯕猓諝猓┑牧髁?/span>
技術(shù)特長氣體流量檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用氣體流量檢測(cè)技術(shù)，檢測(cè)僅為1毫米/秒的氣體流量
      為了檢測(cè)微量的流速，就需要縮小裝在MEMS流量傳感器檢測(cè)部位的MEMS流量傳感器芯片。通過充分發(fā)揮歐姆龍獨(dú)創(chuàng)的高精度加工技術(shù)，創(chuàng)造出世界最小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米，厚0.4毫米)的芯片。 其測(cè)試原理如圖所示，在沒有氣體流動(dòng)的情況下以加熱器為中心，溫度分布左右對(duì)稱；如有氣體流動(dòng)，加熱器排出的風(fēng)的上方就會(huì)變冷，風(fēng)的下方就會(huì)變熱，從而導(dǎo)致溫度失衡。此溫度差作為兩個(gè)熱電偶的電動(dòng)勢(shì)差，可用于檢測(cè)流速及流量。
       另外，通過應(yīng)用歐姆龍獨(dú)創(chuàng)的蝕刻技術(shù)等，即使是這種超精細(xì)的MEMS，也能高精度地實(shí)現(xiàn)質(zhì)量穩(wěn)定的大批量生產(chǎn)。憑借這種高度的MEMS生產(chǎn)性，歐姆龍大幅度降低了產(chǎn)品成本，從而不僅在燃料電池方面，還可廣泛應(yīng)用于檢測(cè)精密設(shè)備的空冷狀態(tài)等各種領(lǐng)域。