注:對于反射率較高的物體,有時會因處于測量范圍外而產(chǎn)生錯誤檢測。
*1. 光束直徑:為測量范圍的最小直徑值(實效值),根據(jù)中心光強度的1/e2(13.5%)進行定義。
定義區(qū)域外存在漏光或?qū)ο笪矬w周圍的反射率高于對象物體時,會出現(xiàn)錯誤檢測。
此外,檢測直徑小于光束的工件時,有時無法得到正確的測量值。
*2. 分辨率:表示連接在ZX2-LDA上時模擬量輸出的波動幅度(±3σ)。
(表示將ZX2-LDA的響應(yīng)時間設(shè)定為128ms,并以本公司標準對象物體(擴散反射型:白色陶瓷、正反射型:1/4λ平面鏡)為中心距離的測量值。)表示工件為靜 止狀態(tài)的重復(fù)精度,并非表示距離精度。
在較強的電磁場內(nèi),有時無法滿足分辨率的性能。
*3. 線性:表示測量本公司標準對象物體時,相對于變位輸出理想直線的誤差。線性度及測量值因?qū)ο笪矬w而異。
F.S.表示整個測量范圍。(ZX2-LD50 (L):20mm)
*4. 溫度特性:通過鋁制夾具固定傳感頭和本公司標準對象物體時的數(shù)值。(按照測量中心距離進行測量)
*5. 預(yù)定依照FDA標準的Laser Notice No.50規(guī)定,按IEC60825-1的基準劃分為擴散反射型的Class2、正反射型的Class1,并已申報CDRH。